在半導體制造、平板顯示、真空鍍膜等制造領域，獲得清潔、穩定、可靠的真空環境是確保工藝品質的基礎前提。傳統的油封式真空泵存在油蒸汽返流污染腔室的風險，而隨著環保法規日趨嚴格和工藝要求不斷提升，無油干式真空泵已成為行業主流選擇。日本ULVAC（愛發科）推出的CR300B多級羅茨型干泵，以其風冷設計、無油運行和的極限真空性能，為中大型真空設備提供了高效可靠的真空獲得解決方案。

核心技術：多級羅茨結構與無油非接觸設計

CR300B屬于ULVAC CR系列干式真空泵的Ver.B版本，是一款獲得國際標準（CE、cTUVus）認證的風冷羅茨型干泵。其核心技術在于多級羅茨轉子結構與無油的排氣室設計。

多級羅茨串聯壓縮：CR300B采用多級羅茨轉子串聯的結構，各級轉子在氣缸內同步反向旋轉，通過精確控制的間隙實現非接觸式運轉。氣體在流經各級壓縮腔時被逐步壓縮，最終排向大氣。這種設計既保證了高壓縮比，又避免了機械接觸帶來的磨損和潤滑需求。

無油排氣室：泵頭內部不使用真空油，轉子與氣缸之間實現無接觸運轉。這意味著整個排氣過程無油參與，消除了油蒸汽向真空腔室的返流污染，確保了獲得潔凈真空，同時顯著延長了泵的穩定運行壽命。

DC密封電機技術：CR300B配備了DC密封電機，實現了節能、氣密性和輕量化的多重優勢。電機的密封結構有效防止了外部泄漏，同時降低了功耗，符合現代工業對節能環保的要求。

產品特性：風冷節能與智能擴展

CR300B的設計充分考慮了工業應用的運行經濟性與環境適應性，在冷卻方式、功耗控制和功能擴展方面均有突出表現。

風冷設計，零水耗運行：CR300B采用風冷冷卻方式，無需冷卻水和氮氣。這一設計不僅簡化了安裝條件，更大幅降低了日常運行成本，尤其適合缺水地區或希望降低公用設施投入的用戶。

氣鎮機構實現水蒸氣抽除：泵體配備氣鎮機構（Gas Ballast，選配件），通過引入適量干燥氣體，可有效防止水蒸氣在泵內凝結，從而實現水蒸氣的抽除。使用氣鎮時，CR300B的大水蒸氣處理量可達500g/h，適用于真空干燥等需要抽除大量水蒸氣的工藝場景。

低功耗與輕量化：CR300B電機額定功率為3.0kW，整機重量100kg，在同類產品中實現了較好的功率重量比。輕量化設計降低了安裝和維護難度，而低功耗則為長期連續運行節約了可觀的電費成本。

完善的附件選項：為適應不同應用場景，CR300B提供豐富的選配件，包括針閥式或電磁閥+針閥式氣鎮機構、消音器（RS-01+套件C）、簡易消音器（EFS-19-NW40/1）以及電源互換BOX等，用戶可根據實際需要進行配置。

技術規格與性能參數

CR300B作為CR系列中的中大流量機型，其核心性能參數如下表所示：

工作原理與工作流程

CR300B的工作原理基于多級羅茨轉子對氣體的捕獲、壓縮和排出。當電機驅動各級轉子同步反向旋轉時，轉子和氣缸之間形成周期性變化的容積腔。氣體從吸氣口被吸入一級壓縮腔，隨著轉子轉動，氣體被逐級輸送到后續壓縮腔，每經過一級，氣體體積被壓縮、壓力升高，最終從排氣口排向大氣。

整個過程中，轉子和氣缸之間保持微米級間隙，無機械接觸，因此無需潤滑油參與密封和潤滑。這種非接觸式運轉不僅保證了氣體的潔凈度，也大幅降低了機械磨損和發熱。

當需要抽除水蒸氣時，用戶可開啟氣鎮閥，向壓縮腔內注入適量干燥氣體，以降低水蒸氣的分壓，防止其在低于露點時凝結，從而確保水蒸氣被順利排出泵外。

廣泛的應用領域

CR300B憑借其潔凈無油、高極限真空和風冷節能的特性，在多個高制造和科研領域發揮著核心作用。

• 半導體與電子器件制造：用于濺射設備、蒸鍍設備、刻蝕設備等工藝腔室的真空排氣。潔凈無油的環境確保晶圓和器件不受碳氫化合物污染，保障產品良率。

• 真空鍍膜與表面處理：適用于光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜等各類真空鍍膜機的粗抽及維持真空，為制備高質量薄膜提供清潔的真空基礎。

• 真空干燥與冷凍干燥：在制藥、食品、生物制品等領域的真空干燥設備中，CR300B可配合氣鎮機構高效抽除大量水蒸氣，顯著縮短干燥時間，提高生產效率。

• 科研與通用真空設備：作為各類真空系統的前級泵或維持泵，用于抽取空氣、惰性氣體等潔凈氣體，廣泛應用于材料科學、表面物理、空間模擬等研究領域。

結語

日本ULVAC愛發科CR300B多級羅茨型干泵，是一款將多級羅茨壓縮技術與無油設計深度融合的真空獲得設備。它以300 m3/h的大抽速、≤0.5 Pa的高極限真空和風冷零水耗的運行特性，為半導體、鍍膜、干燥等領域提供了清潔可靠的真空動力。非接觸式轉子運轉確保了長期穩定的使用壽命，DC密封電機實現了節能與輕量化的平衡，而氣鎮機構的可選配置則賦予其處理水蒸氣的靈活能力。在現代工業對真空環境潔凈度與運行經濟性要求日益提升的背景下，CR300B以其扎實的性能和可靠的品質，成為中大規模真空系統的理想選擇。