一、產品概述

ULVAC愛發科RDA-281HA是一款多級羅茨型干式真空泵，屬于RDA系列中的經濟型型號。該泵采用六級排氣系統設計并內置恒溫器，在無需工作液的前提下實現了與油回轉泵同等的性能水平。RDA-281HA的應用領域覆蓋分析儀器、氣體回收系統、鍍膜設備、渦輪分子泵的前級泵、氦質譜檢漏儀以及半導體制造工藝等眾多場景。

RDA-281HA與同系列RDA-281H的主要區別在于認證標準與電源適配能力——RDA-281HA獲得cTUVus認證，可適配單相100～115V/200～240V及三相200～240V多種電源，在不同國家和地區均有良好的兼容性。

二、多級羅茨工作原理

多級羅茨型干泵的核心結構是在泵殼內部平行配置兩支具有三葉截面形狀的轉子，通過一對齒輪驅動，使兩轉子以相同頻率沿相反方向旋轉。轉子之間以及轉子與殼體之間始終保持微小間隙，不直接接觸，以此實現氣體的吸入、輸送和壓縮。

RDA-281HA的多級設計是多級羅茨技術的重要體現——在同一根轉子軸上串聯了多級羅茨型轉子，各級轉子通過中間壁隔離開，形成多個相對獨立的泵腔，上一級的排氣口與下一級的進氣口通過級間氣流通道相連，實現氣體的逐級壓縮與輸送。這種串聯結構使得泵能夠在大氣壓力下直接啟動排氣，并將氣體壓縮至大氣壓以上后排出，無需額外的前級泵輔助。

在該泵的密封設計中，齒輪和軸承等旋轉部件使用油進行潤滑，但通過精密的密封結構嚴格隔離，確保潤滑油不會進入泵體內的排氣腔室，從而在根本上杜絕了真空油進入被抽容器或污染環境的可能性。

三、核心性能與規格參數

RDA-281HA的主要技術參數如下所示：

數據來源：

RDA-281HA的泵體在低溫范圍內實現均勻加熱，使其在PVD工藝以及裝載/卸載室的排氣應用中具有顯著優勢，能夠有效縮短排氣時間并提高設備吞吐量。

四、核心特點與技術優勢

4.1 大排氣量與小型化設計

RDA-281HA在280 L/min有效抽速的規格下，實現了高度緊湊的機身尺寸，寬度僅180 mm、高度僅377 mm。大排氣量、小型尺寸的設計理念使其能夠輕松集成到空間受限的設備中，尤其適合半導體制造設備、分析儀器等對占地面積有嚴格要求的應用場景。

4.2 全壓力范圍連續運行能力

RDA-281HA突出的技術特性之一是其從大氣壓到極限壓力全壓力范圍內的連續運行能力。傳統真空泵往往需要在一定壓力區域內運行方可達到最佳性能，而RDA-281HA憑借多級羅茨結構的優異壓縮特性，可在任意壓力區間穩定工作，對于需要頻繁啟?；蛟谧儔毫l件下運行的工藝具有獨特優勢。

4.3 優異的水蒸氣耐受能力

RDA-281HA的最大水分吸引量可達300 g/h，具備出色的耐水蒸氣性能。這一特性使其特別適用于處理含水蒸氣或濕氣較高的工藝環境，如真空干燥、冷凍干燥等應用場景。

4.4 無需冷卻水的節能設計

傳統真空泵往往需要配置水冷系統以維持正常運行溫度，而RDA-281HA采用自然散熱設計，無需冷卻水。這一設計大幅降低了設備的安裝成本和運營費用，免去了冷卻水配管、水質管理等一系列維護工作，尤其適用于冷卻水供應不便的場所。

4.5 單相/三相電源通用設計

RDA-281HA支持單相100～115V/200～240V和三相200～240V的多種電源電壓，同一型號即可適配不同國家和地區的供電標準，在全球范圍內均具有良好的兼容性。這一特性顯著提升了設備的通用性和部署靈活性。

4.6 無滑動部件的長壽命設計

RDA-281HA的轉子在泵腔內通過非接觸方式旋轉運行，不存在滑動摩擦部件，使用壽命大幅延長。同時，泵體內部不使用真空油，消除了真空油的返流和油霧污染問題，所獲得的真空環境潔凈無油，能夠滿足半導體、FPD、電子器件等行業對清潔真空的嚴格要求。

五、主要應用領域

RDA-281HA的廣闊應用范圍涵蓋以下典型場景：

半導體與電子器件制造：作為刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等半導體工藝設備的真空排氣系統組成部分，滿足高潔凈真空需求。

真空鍍膜設備：在濺射鍍膜、蒸鍍等PVD工藝中作為真空系統的核心泵組，其低溫范圍內均勻加熱的特性尤其適合PVD工藝中的裝載和卸載室排氣。

真空熱處理爐：應用于燒結爐、滲碳爐等熱處理設備的真空排氣系統，實現在全壓力范圍內的連續穩定運行。

分析儀器與氣體回收系統：作為質譜分析儀、氣體回收系統的真空源，提供可靠的清潔真空環境。

渦輪分子泵前級泵：作為渦輪分子泵的前級粗抽泵，構建高真空抽氣系統。同時也可作為氦質譜檢漏儀的配套泵使用。

鋰電池制造設備：應用于電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等鋰電池生產環節的真空排氣系統。

醫療與食品設備：應用于冷凍干燥設備、真空干燥設備等對清潔度要求較高的醫療與食品加工設備。

六、使用注意事項

在實際使用過程中，需要注意以下幾點以保證RDA-281HA的正常運行和使用壽命：

防止粉末及生成物吸入：粉末和生成物的吸入可能導致泵的內部損壞，建議在進氣口安裝吸氣阱或過濾器等防護裝置。

禁止抽除有害氣體：禁止吸入爆炸性氣體、氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體和有機溶劑氣體等有害介質，此類氣體的吸入可能導致泵故障、爆炸或火災等嚴重安全事故。

室內使用限制：RDA-281HA為室內使用設備，不得安裝在室外或可能遭受雨淋、水淹等惡劣環境的位置。

避免高溫環境運行：盡管RDA-281HA采用自然散熱設計，但仍需確保環境溫度在5～40℃的推薦范圍內運行，超出此范圍可能影響泵的性能和使用壽命。

七、總結

ULVAC愛發科RDA-281HA多級羅茨型干泵是集大抽速、小型化、無需冷卻水、無油潔凈于一身的高性能真空解決方案。其六級多級羅茨結構與內置恒溫器設計賦予了設備全壓力范圍連續運行的能力，280 L/min的有效抽速與僅38 kg的輕量機身使其在半導體制造、真空鍍膜、分析儀器及鋰電池生產等諸多領域皆可實現高效部署，是油回轉泵的理想替代方案。